多道x射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型(WD)和能量色散型(ED)。波长色散型是由色散元件将不同能量的特征X射线衍射到不同的角度上，探测器需移动到相应的位置上来探测某能量的射线。而能量色散型，去掉了色散系统，是由探测器本身的能量分辨本来分辨探测到的X射线的。波长色散型能量分辨本，而能量色散型可同时测量多条谱线，目前，能量色散型X射线荧光光谱仪主要用于元素筛选分析。